CanonANELVA(アネルバ)

対応カテゴリー

RFGenerator
電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。
- PRF-065B
クライオポンプ
超高真空が要求される生産現場にてクライオポンプをご使用中のお客様へ、多数メーカーの修理対応が可能です。ディスコン品に関しても是非お問い合わせ下さい。
- P-086C
- CAP-80
- CAP-80MKⅡ
- CAP-83R
- CAP-120MKⅡ
- CAP-121
- P-08シリーズ
- P-10シリーズ
- P-12シリーズ

サイト掲載以外の部品についてもご相談承ります。
部品修理についてのご質問やご注文など、お気軽にお問い合わせください。