RFGenerator
電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。
対応メーカー
AD-TEC
- AX-600Ⅲ
- AX-1000
- AX-1000Ⅱ
- AX-1000AMⅡ
- AX-1000Ⅱ/EＮI
- AX-1000Ⅲ
- AX-1000LFⅡ
- AX-2000
- AX-2000Ⅱ
- AX-2000EUⅡ
AE
- RFG-1250
- RFG-1250 HALO
- RFG2000-2V
- RFG-3000
- RFG-5500
- RFDS-A
- RFX-600
- RFX-600A
- APEX3013
- APEX5513
- APEX1513
- APEX 10KW/13
- HFV-8000
- PDX-900-2V
- PDX-1400
- PDX-5000
- PDX-8000
- Pinnacle
- MDX-10K
- MDX-20K
- PARAMOUNT6013
- PARAMOUNT3013
- APEX2013
AMAT
- マルチDC Power Supply
- マルチDC15V Power Supply
- G2 Generator
- Bias Generator
CanonANELVA(アネルバ)
- PRF-065B
COMDEL
- CLF-5000
- CPS-1001S
- CDX-2000
- CX-600S
DAIHEN
- DRFS-5SA
- DRFS-10SB
- RGA-10A
- MFG-20SA1/3/4/6
- MGA-20A
- AGA-2７B
- AGA-50B2
KYOSAN
- RFK10
- RFK20
- RFK30
- RFK50
- RFK７5
MKS/ENI
- OEM-6 Series
- OEM-10 Series
- OEM-12 Series
- OEM-25N
- OEM-25B
- OEM-28B
- OEM-50N
- GHW-50A
- GHW-55A
- GHW-80A
- GHW-80
- GHW-85
- ACG-6B
- GMW-12Z
- GMW-25
- GMW-25Z
- GMH12Z-13DF2N0-001
- PL2HF-N
- PL2HF
- DOG-200Z-OPTIMA
- DOG-200Z-S00
- DOG-200Z-00
- DOG-400Z-00
- DOG-600Z-00
- DC21M-Z141300110A
- DC22M
- DC24M
- DPG-10
- DOFBC2-083
- NOVA-50A
- OB2 2MHz Gen
- OB2 27MHz Gen
- SPECTRUM10513
- SPECTRUM11002
- NPP
- NPR-6L
RFPP
- LF5
- LF10
- LF10A
- LF30
- RF5S
- RF10
- RF10S
- RF20
- RF20S
- RF20R
- RF30S
- RF30H
- RF50SWC
THAMWAY
- A161-6566A
- A161-6566B
パール工業
- LP-150B-800K
- LP-2000-400K
- LP-2000-800K
- RP-50B-2M
- RP-300-2M
- RP-2000-13M
- RP-3000-27M
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