KYOSAN

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  • RFGenerator

    電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
    高周波電源は直流電源等と同じく、高周波(いわゆる電波)を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。

    • RFK10
    • RFK20
    • RFK30
    • RFK50
    • RFK75

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