RFPP
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RFGenerator
電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。- LF5
- LF10
- LF10A
- LF30
- RF5S
- RF10
- RF10S
- RF20
- RF20S
- RF20R
- RF30S
- RF30H
- RF50SWC
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