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RFGenerator
電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。- A161-6566A
- A161-6566B
サイト掲載以外の部品についてもご相談承ります。
部品修理についてのご質問やご注文など、お気軽にお問い合わせください。
電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。
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