RPS
リモートプラズマ発生装置で、Gasクリーニングにて使用します。
対応メーカー
AE
- 3151806-202F
- 3151806-202G
MKS
- AX7650
- AX7651
- AX7651-2
- AX7657
- AX7657-2
- AX7657-3
- AX7657-4
- AX7657-5
- AX7657-7
- AX7657-11
- FI20620
- FI20620-1
- FI20620-1-C
- FI20620-1R
- AX7670
- AX7670-02
- AX7670-05
- AX7670-06
- AX7670-06-R
- AX7670-12
- AX7670-16
- AX7670-16-R
- AX7670-19
- AX7670-20
- AX7670-21
- AX7670-30
- AX7670-60
- AX7680
- AX7685
- AX7685-20
- AX7685-20-C
- FI80131
- FI80131-C
- FI80131-R
- FI80131-RC
- FI80133
- AX7685-01
- FI80132
- FI80132-R
- AX7645-RH-01
- AX7645-RH-02
- AX7645-RH-10
- AX7645-PS-01
- AX7645-PS-10
- AX7640
- AX7640-01
- FI80146
- FI80146-I
- AX7635-02
- AX7635-03
- AX7665-01
- AX7665-02
- AX7667
サイト掲載以外の部品についてもご相談承ります。
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