対応カテゴリー

• RFGenerator

  電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
  高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。

  • RFG-1250
  • RFG-1250 HALO
  • RFG2000-2V
  • RFG-3000
  • RFG-5500
  • RFDS-A
  • RFX-600
  • RFX-600A
  • APEX3013
  • APEX5513
  • APEX1513
  • APEX 10KW/13
  • HFV-8000
  • PDX-900-2V
  • PDX-1400
  • PDX-5000
  • PDX-8000
  • Pinnacle
  • MDX-10K
  • MDX-20K
  • PARAMOUNT6013
  • PARAMOUNT3013
  • APEX2013

• Matching Box

  プラズマ処理装置用インピーダンス整合器です。

  • MERCURY3013
  • SOURCE MATCHER
  • BIAS MATCHER(3155031-039)
  • FIXED MATCHER(3155094-003A)
  • MATCH(0190-10790)
  • MATCH(0190-15167)
  • MATCH(0190-19024)
  • MATCH(1110-01043)
  • MATCH(1110-01046)
  • MATCH(1110-01063)
  • MATCH(0190-06234)
  • MATCH(0190-15168)
  • MATCH(0190-27579)
  • MATCH(0190-11225)
  • MATCH(0190-16215)
  • MATCH(1110-00034)
  • MATCH(1110-00056)
  • MATCH(0010-16215)
  • MATCH(0010-01371)

• RPS

  リモートプラズマ発生装置で、Gasクリーニングにて使用します。

  • 3151806-202F
  • 3151806-202G