対応カテゴリー

• RFGenerator

  電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
  高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。

  • OEM-6 Series
  • OEM-10 Series
  • OEM-12 Series
  • OEM-25N
  • OEM-25B
  • OEM-28B
  • OEM-50N
  • GHW-50A
  • GHW-55A
  • GHW-80A
  • GHW-80
  • GHW-85
  • ACG-6B
  • GMW-12Z
  • GMW-25
  • GMW-25Z
  • GMH12Z-13DF2N0-001
  • PL2HF-N
  • PL2HF
  • DOG-200Z-OPTIMA
  • DOG-200Z-S00
  • DOG-200Z-00
  • DOG-400Z-00
  • DOG-600Z-00
  • DC21M-Z141300110A
  • DC22M
  • DC24M
  • DPG-10
  • DOFBC2-083
  • NOVA-50A
  • OB2 2MHz Gen
  • OB2 27MHz Gen
  • SPECTRUM10513
  • SPECTRUM11002
  • NPP
  • NPR-6L

• Matching Box

  プラズマ処理装置用インピーダンス整合器です。

  • MWD-25LD
  • MWH-70
  • MWH-100-01
  • OB2 Dual MatcH
  • DOFBC2-075