Matching Box

プラズマ処理装置用インピーダンス整合器です。

対応メーカー

AD-TEC

  • AMV-1000MA2
  • AM-1000S-ASM
  • AMV-1000ASM5
  • AM-1000S-M
  • AMV-1000RA-A
  • AM-2000S-M
  • AMV-3000

AE

  • MERCURY3013
  • SOURCE MATCHER
  • BIAS MATCHER(3155031-039)
  • FIXED MATCHER(3155094-003A)
  • MATCH(0190-10790)
  • MATCH(0190-15167)
  • MATCH(0190-19024)
  • MATCH(1110-01043)
  • MATCH(1110-01046)
  • MATCH(1110-01063)
  • MATCH(0190-06234)
  • MATCH(0190-15168)
  • MATCH(0190-27579)
  • MATCH(0190-11225)
  • MATCH(0190-16215)
  • MATCH(1110-00034)
  • MATCH(1110-00056)
  • MATCH(0010-16215)
  • MATCH(0010-01371)

AMAT

  • MATCH(0010-09750)
  • MATCH(0010-00854)
  • MATCH(0010-09416)
  • MATCH(0010-09490)
  • MATCH(0010-30094)
  • MATCH(0010-30686)
  • MATCH(0010-02372)
  • MATCH(0010-18130)
  • MATCH(0010-20525)
  • MATCH(0010-31408)
  • MATCH(0010-36162)
  • MATCH(0010-36114)
  • MATCH(0010-36408)
  • MATCH(0010-09750)
  • MATCH(0010-04137)
  • MATCH(0010-04138)
  • MATCH(0010-09417)
  • MATCH(0010-18129)
  • MATCH(0010-18130)
  • MATCH(0010-02850)
  • MATCH(0010-07437)
  • MATCH(0010-13524)
  • MATCH(0010-20524)
  • MATCH(0010-22162)
  • MATCH(0010-25893)
  • MATCH(0010-02977)
  • MATCH(0010-05846)
  • MATCH(0010-21748)
  • MATCH(0010-26180)
  • MATCH(0010-29014)
  • MATCH(0010-33724)
  • MATCH(0010-36408)

ASTECH

  • ATH-50
  • ATH-100
  • ATL-100RA
  • ATH-100RS
  • ATH-200RS
  • TH-20RS
  • TH-30R
  • TL-10RU
  • TL-30R

DAIHEN

  • AMN-30F
  • AMN-50B2
  • DAUMA-10N2
  • DAUMA-10SA3L
  • DAUMA-12B
  • RMN-10
  • RMN-20
  • RMN-20H
  • RMN-30
  • WMN-50C6

Lam

  • MATCH(853-330951)
  • MATCH(853-025083)
  • MATCH(853-25001-024)
  • MATCH(853-032190)
  • MATCH(853-032294)
  • MATCH(853-025735)

MKS/ENI

  • MWD-25LD
  • MWH-70
  • MWH-100-01
  • OB2 Dual MatcH
  • DOFBC2-075

TRAZER

  • AMU2-1
  • AMU10D-1
  • AMU10D-2
  • AMU10E-1
  • AMU10E-2
  • SRN1-2

パール工業

  • M-03A74
  • M-05A2LS-400K
  • M-20A2LSR
  • M-20A2LS-U2
  • M-20A2VD-13MX
  • M-20A2VD-13MV
  • M-20AW2VD-13MX-L
  • M-30AW2VD-27M

京三製作所

  • MBK10-TO2B
  • MBK20T
  • MBK20-TO23

電気興業

  • ST-1
  • ST-1E

サイト掲載以外の部品についてもご相談承ります。
部品修理についてのご質問やご注文など、お気軽にお問い合わせください。