対応カテゴリー

• RFGenerator

  電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
  高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。

  • AX-600Ⅲ
  • AX-1000
  • AX-1000Ⅱ
  • AX-1000AMⅡ
  • AX-1000Ⅱ/EＮI
  • AX-1000Ⅲ
  • AX-1000LFⅡ
  • AX-2000
  • AX-2000Ⅱ
  • AX-2000EUⅡ

• Matching Box

  プラズマ処理装置用インピーダンス整合器です。

  • AMV-1000MA2
  • AM-1000S-ASM
  • AMV-1000ASM5
  • AM-1000S-M
  • AMV-1000RA-A
  • AM-2000S-M
  • AMV-3000