対応カテゴリー

• RFGenerator

  電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
  高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。

  • マルチDC Power Supply
  • マルチDC15V Power Supply
  • G2 Generator
  • Bias Generator

• Matching Box

  プラズマ処理装置用インピーダンス整合器です。

  • MATCH(0010-09750)
  • MATCH(0010-00854)
  • MATCH(0010-09416)
  • MATCH(0010-09490)
  • MATCH(0010-30094)
  • MATCH(0010-30686)
  • MATCH(0010-02372)
  • MATCH(0010-18130)
  • MATCH(0010-20525)
  • MATCH(0010-31408)
  • MATCH(0010-36162)
  • MATCH(0010-36114)
  • MATCH(0010-36408)
  • MATCH(0010-09750)
  • MATCH(0010-04137)
  • MATCH(0010-04138)
  • MATCH(0010-09417)
  • MATCH(0010-18129)
  • MATCH(0010-18130)
  • MATCH(0010-02850)
  • MATCH(0010-07437)
  • MATCH(0010-13524)
  • MATCH(0010-20524)
  • MATCH(0010-22162)
  • MATCH(0010-25893)
  • MATCH(0010-02977)
  • MATCH(0010-05846)
  • MATCH(0010-21748)
  • MATCH(0010-26180)
  • MATCH(0010-29014)
  • MATCH(0010-33724)
  • MATCH(0010-36408)

• Robot

  装置メーカーオリジナルの物から、ロボットメーカー製の物まで多種存在し多くのメーカー修理に対応出来ます。

  • HP/HP+
  • VHP/VHP+
  • ARM SET

• Chiller

  水や熱媒体の液温を管理しながら循環させ温度を一定に保つための装置です。
  冷やすだけでなく温めることもあり温度域は様々あります。
  多くのメーカー、機種を修理対応出来ます。

  • AMAT-0
  • AMAT-1

• DC電源

  多くのメーカー、機種を修理対応出来ますのでお問い合わせください。

  • 0010-14630