対応カテゴリー

• RFGenerator

  電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
  高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。

  • DRFS-5SA
  • DRFS-10SB
  • RGA-10A
  • MFG-20SA1/3/4/6
  • MGA-20A
  • AGA-2７B
  • AGA-50B2

• Matching Box

  プラズマ処理装置用インピーダンス整合器です。

  • AMN-30F
  • AMN-50B2
  • DAUMA-10Ｎ2
  • DAUMA-10SA3L
  • DAUMA-12B
  • RMＮ-10
  • RMＮ-20
  • RMN-20H
  • RMＮ-30
  • WMN-50C6

• DC電源

  多くのメーカー、機種を修理対応出来ますのでお問い合わせください。

  • HIPS-10
  • ATP-30B
  • ATP-60B
  • AST-201C