対応カテゴリー

• RFGenerator

  電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
  高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（いわゆる電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。

  • LP-150B-800K
  • LP-2000-400K
  • LP-2000-800K
  • RP-50B-2M
  • RP-300-2M
  • RP-2000-13M
  • RP-3000-27M

• Matching Box

  プラズマ処理装置用インピーダンス整合器です。

  • M-03A74
  • M-05A2LS-400K
  • M-20A2LSR
  • M-20A2LS-U2
  • M-20A2VD-13MX
  • M-20A2VD-13MV
  • M-20AW2VD-13MX-L
  • M-30AW2VD-27M